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u乐平台地址CMP抛光材料包括抛光液和抛光垫,其耗用量随着晶圆产量和CMP工艺步骤数增加而增加。CMP抛光液作为CMP过程中必备的耗材,不同于CMP设备。设备的采购是一次性的,同时使用周期较长,一次性成本较高;而易耗品则时时都在消耗,特别是随着CMP从逻辑产品进入存储器领域,DRAM闪存器件上需要抛光多层铜互连层,因此对抛光液的消耗也是成倍的增长。短期内,设备的支出比较大,但长期来看,耗材的消耗将超过设备的支出。

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瑞安日报

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